温度探针实拍样品 温度探针
Temperature Probe
适配机型/对象： 通用半导体设备 / 工业高温及精密温控系统
面向半导体设备及相关工业场景的温度感知需求，支持按安装方式、接口、量程、精度和工作环境进行产品匹配或定制评估。
支持服务形式：
新品供应定制加工测试验证
技术说明： 具体适配性需结合完整设备型号、原件信息和接口条件确认。
产品概述与工作原理
温度探针是半导体热工制程、刻蚀及薄膜沉积设备中的关键感知元件。盛瑞科提供高可靠性温度探针选型、测绘及定制服务，针对高温、腐蚀性介质或高真空等严苛工况，提供阻值匹配、护套耐蚀与封装密封方案，确保设备运行中温度测量的稳定性与一致性。
核心性能特点与工程优势
- ✓ 宽温区感知与高重复性，适配半导体炉管与反应腔体监控
- ✓ 支持多种感温芯片（PT100、PT1000铂电阻或各类热电偶）
- ✓ 耐高温耐腐蚀封装套管，可选 SUS316L、高温耐蚀合金或特种陶瓷
- ✓ 定制化线缆屏蔽等级、软管防护与工业标准快速接插件
- ✓ 出厂提供电阻温度线性校验与绝缘阻抗测试记录
关键技术参数与参考规格
| 参数指标项 | 规格参数 / 约定方式 |
|---|---|
| 感温元件 | PT100 / 热电偶（按具体型号或图纸确认） |
| 测温范围 | -50℃ ~ +600℃（高温型可定制扩展至1000℃+） |
| 精度等级 | Class A / Class B 或高精度定制（按技术协议确认） |
| 探头直径/长度 | 按装配尺寸或原件图纸测绘确认 |
| 护套材质 | 316L不锈钢 / 耐高温耐腐蚀合金 / 刚玉陶瓷套管 |
| 引线与接头 | 高温补偿导线 / 铁氟龙屏蔽线 / 微型航插端子 |
| 工作环境 | 真空、惰性气氛或微腐蚀性工业环境 |
* 以上参数为标准选型参考。对于特殊机台真空度、高低温极值或特种安装尺寸，支持按技术协议定制。
典型应用场景与适配工位
半导体扩散炉、退火炉及立式炉管内部温区监控
CVD / PECVD 反应腔体与加热衬盘温度感知
干法刻蚀机台下电极与冷却回路温度监控
晶圆吸盘（Heater / Chuck）表面及基座测温
询价与技术确认所需信息
为了快速核算交期与报价，建议在提交需求时提供以下信息：
- 测温范围与正常工作温度
- 探头外径、插入深度及螺纹安装接口
- 引线长度、接线端子类型及屏蔽要求
- 接触介质、真空度或腐蚀性环境说明
- 原件型号、铭牌照片或技术图纸（如有）