Schumacher 5500-1878 检测器实物（铭牌清晰） Schumacher 5500-1878 超声波检测器
Schumacher 5500-1878 Ultrasonic Detector
适配机型/对象： 适配 Schumacher 及同系列起泡器液位系统
面向前道薄膜沉积前驱体液体起泡器液位监测，利用超声波传感技术实现非侵入式液位与物料状态监控，保障连续供液安全。
支持服务形式：
新品供应渠道寻源测试验证
技术说明： 建议提供原件铭牌照片与起泡器规格以便快速确认接口与参数。
产品概述与工作原理
在半导体化学气相沉积（CVD/ALD）等前道工艺中，前驱体液体起泡器（Bubbler / Ampoule）的液位监控对工艺稳定性至关重要。Schumacher 5500-1878 采用外贴超声波检测原理，穿透金属容器管壁实现高纯化学品液位感知，具备无污染、不接触工艺物料、抗干扰能力强的特点。盛瑞科为该类关键元器件提供稳定渠道寻源、型号核对与测试验证服务。
核心性能特点与工程优势
- ✓ 非侵入式外部感应设计，杜绝与高纯化学品接触引发的制程污染
- ✓ 高灵敏度声学换能与信号调理，稳定穿透不锈钢等金属壁厚
- ✓ 抗射频电磁干扰电路架构，适应半导体主设备复杂的机电工况
- ✓ 标准快插电气接口，便于机台定检维护与原位无缝替换
- ✓ 适用于多种低粘度有机金属及高纯液体前驱体起泡系统
关键技术参数与参考规格
| 参数指标项 | 规格参数 / 约定方式 |
|---|---|
| 适配型号 | Schumacher 5500-1878 及同系列液位传感模块 |
| 检测原理 | 超声波脉冲发射与声阻抗回波判定 |
| 监测对象 | 高纯化学前驱体液体（TEOS、TDMAT、TMA等）容器液位 |
| 安装方式 | 外置固定卡夹 / 导轨贴附安装 |
| 电气接口 | 工业多针专用航空快接插头 |
| 供电与输出 | 按原厂或配套控制器电气规范确认 |
* 以上参数为标准选型参考。对于特殊机台真空度、高低温极值或特种安装尺寸，支持按技术协议定制。
典型应用场景与适配工位
半导体前道 CVD / ALD 前驱体起泡器液位预警与停机保护
化学品中央供应系统（CDS）及气液混合分配箱状态监控
光伏与化合物半导体外延金属有机化学物料消耗追踪
询价与技术确认所需信息
为了快速核算交期与报价，建议在提交需求时提供以下信息：
- 完整料号及原件铭牌清晰照片
- 当前使用起泡器/储罐外径与壁厚规格
- 配套信号放大器或机台控制器型号
- 采购数量与紧急程度（停机急件 / 备库）