Ulvac EI-5 / ESZ-R 核心零配件实物（星行架等） Ulvac EI-5 / ESZ-R 相关零配件
Ulvac EI-5 / ESZ-R Evaporator Spare Parts
适配机型/对象： 适配 Ulvac EI-5 / ESZ-R 真空电子束蒸发镀膜设备
提供星行架、阳极板、衬锅、火山口、轴承、灯丝等相关零配件的需求确认、测绘加工与供应协同，具体以设备型号与技术确认为准。
支持服务形式：
定制加工新品供应测试验证
技术说明： 支持根据机台使用寿命与工况要求，提供定制材质与图纸测绘。
产品概述与工作原理
Ulvac EI-5 与 ESZ-R 是半导体器件、光电子及真空镀膜领域广泛应用的电子束蒸发镀膜设备。在长期高真空、强电子束轰击与高温辐射环境下，腔体内关键消耗件与运动机构需定期更换。盛瑞科基于精密制造与高洁净度控制能力，承接该系列机台阳极板、星行架、耐高温衬锅、火山口组件、专用真空轴承及发射灯丝的精密定制与备件供应。
核心性能特点与工程优势
- ✓ 涵盖六大易损件：星行架、阳极板、衬锅、火山口、真空轴承与发射灯丝
- ✓ 严格挑选半导体级高纯无氧铜（OFHC）、特种钨/钼合金与高纯石墨
- ✓ 高精度数控微米级加工公差，保证腔体原位装配精度与动平衡
- ✓ 全流道水冷气密承压测试，杜绝水冷阳极板真空侧渗漏隐患
- ✓ 超声多级洁净清洗与双层真空防护包装，满足洁净室直接上线要求
关键技术参数与参考规格
| 参数指标项 | 规格参数 / 约定方式 |
|---|---|
| 适配机型 | Ulvac EI-5、ESZ-R 系列真空电子束蒸发镀膜设备 |
| 主要零件类别 | 星行架、阳极板、衬锅、火山口、专用轴承、蒸发灯丝 |
| 常用材料 | 高纯无氧铜(OFHC)、高纯钨/钼、高纯石墨、高纯陶瓷、耐热轴承钢 |
| 加工公差 | 配合面精密加工达 ±0.005mm ~ ±0.01mm，按图纸约定 |
| 洁净标准 | 半导体级无水乙醇/超纯水精密超声清洗，防指纹真空无尘封装 |
| 交付资料 | 材质报告、三坐标关键尺寸实测表、出厂检验记录 |
* 以上参数为标准选型参考。对于特殊机台真空度、高低温极值或特种安装尺寸，支持按技术协议定制。
典型应用场景与适配工位
半导体功率器件（IGBT/MOSFET/SiC）欧姆接触及背金蒸镀
BAW / SAW 射频滤波器电极膜层精密物理气相沉积
光通信激光器芯片、化合物外延片精密欧姆极金属化
光学精密镀膜与特殊高纯金属薄膜蒸镀工艺
询价与技术确认所需信息
为了快速核算交期与报价，建议在提交需求时提供以下信息：
- 所需具体零件名称及原厂件编号（如有）
- 设备具体型号（EI-5 还是 ESZ-R 及腔体配置）
- 样件实物照片、尺寸测绘草图或 2D/3D 图纸
- 材质及表面处理特殊工艺要求
- 采购数量、打样需求及期望交付周期